目前设备前端模块EM）、大气机械手已全面导入市

　　四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，从动化股份无限公司已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，机能对标国外先辈产物，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；